特點(diǎn)
1. 質(zhì)量流量計(jì)技術(shù)特點(diǎn)：新一代微機(jī)電（MEMS）技術(shù)，自適應(yīng)信號(hào)處理技術(shù)，數(shù)值仿真技術(shù)設(shè)計(jì)。具有精度高、穩(wěn)定性好、量程比寬、抗干擾、壓損小。
2. 主要功能：流量數(shù)據(jù)采集/處理、記錄/顯示，滿足就地、遠(yuǎn)程監(jiān)測(cè)需求。 安裝方便，維護(hù)簡(jiǎn)單。
3. 適用范圍：氧氣O2 / 氮?dú)釴2 / 氬氣Ar / 天然氣LNG 。通徑DN3-DN20，壓力0-2.5Mpa，溫度 -20-80°C
4. 應(yīng)用場(chǎng)合：醫(yī)療、制藥、半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝過程如擴(kuò)散、氧化、分子束外延、CVD、等離子刻蝕、濺射、離子注入、以及真空鍍膜、光纖熔煉等；實(shí)驗(yàn)室微反應(yīng)裝置, 混氣配氣系統(tǒng), 毛細(xì)管測(cè)量氣相色譜儀, 光纖制造工藝；石油化工、冶金、焊接等過程控制。
MEMS0600系列微機(jī)電質(zhì)量流量計(jì) (MEMS Mass Flow Meter) 由傳感器、本體、信號(hào)處理模塊組成。
傳感器是用CMOS半導(dǎo)體工藝制成微機(jī)電系統(tǒng) (MEMS)。傳感器根據(jù)熱擴(kuò)散原理設(shè)計(jì), 芯片中央設(shè)加熱器, 加熱器的上下游分別配置熱電堆, 熱電堆附設(shè)基座測(cè)溫體。加熱器和熱電堆的底部設(shè)有空腔, 可高效檢測(cè)加熱器的熱量以及附近溫度場(chǎng)的變化。加熱元件導(dǎo)入恒定電流后, 其附近區(qū)域形成溫度場(chǎng)。介質(zhì)無流動(dòng)時(shí)，上下游熱電堆的溫差為零，介質(zhì)流動(dòng)時(shí)，上下游溫差發(fā)生變化，且溫差數(shù)值與質(zhì)量流量大小呈正相關(guān)關(guān)系，通過測(cè)量溫差可反算出流體質(zhì)量流量。傳感器采用熱擴(kuò)散原理直接測(cè)量質(zhì)量流量, 所以基本無需進(jìn)行壓力、溫度補(bǔ)償，而且熱擴(kuò)散原理應(yīng)用縮小至毫米微米尺度, 因此該傳感器具有精度高、量程寬、靈敏度高的特點(diǎn)。
流量計(jì)本體由主流道、測(cè)量流道、導(dǎo)向結(jié)構(gòu)、過濾結(jié)構(gòu)組成。經(jīng)過理論計(jì)算、大量的數(shù)值仿真、實(shí)驗(yàn)室實(shí)驗(yàn)和現(xiàn)場(chǎng)實(shí)氣測(cè)試驗(yàn)證完成設(shè)計(jì)。流道設(shè)計(jì)滿足經(jīng)濟(jì)、高效、穩(wěn)定、準(zhǔn)確的測(cè)量目標(biāo)。流道壓損小、氣流穩(wěn)定、線性范圍寬。
信號(hào)處理模塊采用性能優(yōu)良、可靠性高的DSP進(jìn)行設(shè)計(jì)。集成數(shù)字化自適應(yīng)信號(hào)處理技術(shù), 可有效抑制隨機(jī)誤差。模塊具有響應(yīng)快、精度高、穩(wěn)定性好的特點(diǎn)。提供便利的計(jì)量就地顯示，根據(jù)需要可提供RS485，4-20mA，NBIOT等數(shù)字和模擬信號(hào)輸出與數(shù)據(jù)遠(yuǎn)傳。
基本功能：
瞬時(shí)流量顯示 (可靈活設(shè)置流量單位), 累積總量顯示(可靈活設(shè)置流量單位), 溫度, 流量計(jì)狀態(tài)監(jiān)測(cè), 傳感器狀態(tài)監(jiān)測(cè),用戶根據(jù)使用習(xí)慣可靈活設(shè)置顯示界面, 靈活選擇介質(zhì) (空氣、氧氣、氮?dú)?、氬氣等氣體)。
高級(jí)功能：
可選配NB-IOT物聯(lián)模塊實(shí)現(xiàn)數(shù)據(jù)遠(yuǎn)傳功能。實(shí)時(shí)記錄瞬時(shí)流量、總量、支持U盤存取。記錄瞬時(shí)流量的趨勢(shì)曲線、統(tǒng)計(jì)量。
注：
流量讀取基本功能可在質(zhì)量流量計(jì)實(shí)現(xiàn)，高級(jí)功能需選配外接觸摸屏監(jiān)測(cè)器實(shí)現(xiàn)。
測(cè)量參數(shù)
| 介質(zhì)壓力(x 0.1MPa) | 02, 03, 04, 06, 08, 10 |
| 介質(zhì)溫度 | -40~85°C, 可定制-40~200°C |
| 流量范圍 | 0.005SLPM ~ 250SLPM |
| 量程比 | 1:100 |
| 響應(yīng)時(shí)間 | < 50 ms |
| 精度 | ±1.5% F.S. |
| 重復(fù)性 | < 0.25% F.S. |
| 靈敏度 | < 0.1% F.S. |
電氣參數(shù)
| 流量計(jì)功耗 | < 0.3Watt |
| 電源 | 24VDC |
| 通訊 | RS485 |
機(jī)械參數(shù)
| 連接 | 1/8”, 3/8”, 1/2”, 3/4”卡套 |
| 安裝 | 面板安裝, 導(dǎo)軌安裝 |
| 尺寸 | 102x147x30 |
| 重量 | 1.0Kg |
| 防護(hù)等級(jí) | IP54 |
材質(zhì)
| 測(cè)量管 | 不銹鋼 |
| 殼體 | 不銹鋼 |
| 密封 | 丁腈、乙烯、丙烯、全氟橡膠、氯丁橡膠、氟化橡膠 |
| 連接 | 不銹鋼 |
MEMS06Axx-Bxx-Cxx-Dxx-Exx-Fxx-Gxx-Hxx
A 通徑 (mm)：DN03, 06, 08, 10, 15，20
B 適用介質(zhì)：A空氣, N氮?dú)?/span>, O氧氣, R氬氣, C二氧化碳, xx訂制
C 最大流量 (SLPM) ：05, 10, 30, 100, 300,800
D壓力(x 0.1MPa)： 02, 04, 06. 08, 10
E輸出通訊：01 數(shù)字量RS485, 02模擬量4~20mA, 03 NB-IOT
F本體材質(zhì)：01鋁合金, 02銅合金, 03 不銹鋼SUS304, 04 不銹鋼SUS316, 05 鈦合金
G 連接：內(nèi)螺紋NPT尺寸(1/8”, 3/8”, 1/2”, 3/4”)
H 安裝方式：01 一體式安裝, 02 分體式導(dǎo)軌安裝, 03 分體式面板嵌入安裝
選型實(shí)例：
MEMS0615-N-200-04-01-01-3/4-03
微納熱式智能質(zhì)量流量計(jì)0600系列, A通徑DN15, B介質(zhì)為氮?dú)?/span>, C最大流量200SLPM, D壓力0.4MPa, E 數(shù)字量輸出RS485, F本體材料為鋁合金, G連接方式為標(biāo)準(zhǔn)NPT 3/4英寸內(nèi)牙, H安裝方式為面板嵌入式安裝。
|
型號(hào) |
管路連接螺紋尺寸 |
通徑 (mm) |
長(zhǎng)度(mm) |
寬度(mm) |
高度(mm) |
流量范圍(SLM) |
|
MEMS0620T |
Female G3/4"內(nèi)螺紋 |
20 |
88 |
38 |
116 |
20~1000 |
|
MEMS0615T |
Female G1/2"內(nèi)螺紋 |
15 |
88 |
38 |
116 |
6~300 |
|
MEMS0610T |
Female G3/8"內(nèi)螺紋 |
10 |
88 |
38 |
101 |
2~100 |
|
MEMS0610T |
Female NPT 3/8"內(nèi)螺紋 |
10 |
88 |
38 |
101 |
2~100 |
|
MEMS0610T |
Male LOK 3/8" 雙卡套外螺紋 |
10 |
124 |
38 |
101 |
2~100 |
|
MEMS0606T |
Female NPT1/4"內(nèi)螺紋 |
6 |
88 |
38 |
101 |
1~50 |
|
MEMS0606T |
Male LOK 1/4" 雙卡套外螺紋 |
6 |
124 |
38 |
101 |
1~50 |
|
MEMS0603T |
Female NPT1/8"內(nèi)螺紋 |
3 |
88 |
38 |
101 |
0.04~2 |
|
MEMS0603T |
Male LOK 1/8" 雙卡套外螺紋 |
3 |
124 |
38 |
101 |
0.04~2 |
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