MEMC2300系列智能質(zhì)量流量控制器 (Mass Flow Controller) 用于精準(zhǔn)測(cè)量和控制氣體介質(zhì)的質(zhì)量流量。通過就地設(shè)定或遠(yuǎn)程控制可使氣體介質(zhì)的質(zhì)量流量按照工藝過程要求自動(dòng)穩(wěn)定在設(shè)定值上。質(zhì)量流量基本不受壓力和溫度的影響, 具有精度高、重復(fù)性好的特點(diǎn)。質(zhì)量流量控制器按照國家標(biāo)準(zhǔn)要求制造, 具有良好的兼容性和互換性。同時(shí), MEMC2300系列智能質(zhì)量流量控制器具備數(shù)據(jù)處理、記錄、顯示等相關(guān)功能, 還可實(shí)現(xiàn)NB-IOT物聯(lián)遠(yuǎn)傳功能。該控制器安裝維護(hù)方便，包括底板安裝和DIN導(dǎo)軌安裝兩種安裝方式。

MEMC2300系列智能質(zhì)量流量控制器主要應(yīng)用于擴(kuò)散、氧化、分子束外延、CVD、等離子刻蝕、濺射、離子注入、真空鍍膜設(shè)備、光纖熔煉等光電半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝，微反應(yīng)裝置、混氣配氣系統(tǒng)、毛細(xì)管測(cè)量氣象色譜儀等試驗(yàn)室設(shè)備轡頭。且可用于石油化工、冶金、焊接、家電制造、制藥等行業(yè)過程控制。

MEMC2300系列智能質(zhì)量流量控制器由質(zhì)量流量計(jì)、比例電磁閥、信號(hào)處理與控制模塊三個(gè)部分構(gòu)成。

質(zhì)量流量計(jì)由本體、傳感器、信號(hào)處理與顯示模塊構(gòu)成。

傳感器采用CMOS半導(dǎo)體工藝制造而成的MEMS微機(jī)電芯片。流量測(cè)量工作原理采用熱擴(kuò)散原理, 芯片中央設(shè)加熱器, 加熱器的上下游兩側(cè)分別配置熱電堆, 熱電堆設(shè)測(cè)溫元件。加熱器和熱電堆陣列的底部設(shè)有空腔, 可高效檢測(cè)加熱器的熱量變化。加熱元件導(dǎo)入恒定電流后, 其附近區(qū)域形成相應(yīng)的溫度場(chǎng)。介質(zhì)流動(dòng)使局部溫度場(chǎng)重新分布, 因?yàn)闇囟葓?chǎng)的變化與流體質(zhì)量流量流速呈線性關(guān)系, 所以通過精確測(cè)量溫度場(chǎng)可反算出流體質(zhì)量流速。傳感器應(yīng)用熱擴(kuò)散原理, 直接測(cè)量質(zhì)量流量, 基本無需壓力、溫度補(bǔ)償，且將熱擴(kuò)散應(yīng)用至微米尺度, 因此采用該傳感器制造的質(zhì)量流量計(jì)具有精度高、量程寬、靈敏、計(jì)量精準(zhǔn)的特點(diǎn)。

流量計(jì)本體用于構(gòu)造安全、準(zhǔn)確的測(cè)量通道。而信號(hào)處理與顯示單元用于處理傳感器信號(hào)并將信號(hào)轉(zhuǎn)換成用戶需要的監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)顯示在LCD屏上。

比例電磁閥是電磁驅(qū)動(dòng)的控制閥與流量計(jì)結(jié)合形成閉環(huán)流量控制系統(tǒng)，可以穩(wěn)定、精確地控制氣體流量。比例電磁閥是交、直流型供電的常閉閥, 磁滯低、重復(fù)性高、反應(yīng)靈敏, 確保流量控制器良好的動(dòng)態(tài)特性，且具有寬泛的Cv流量系數(shù)范圍。采用彈性閥座密封件, 閥門可保證氣密性關(guān)斷截止。可提供整體式卡套接頭用于安裝閥組。

信號(hào)處理與控制模塊與比例電磁閥、質(zhì)量流量計(jì)形成閉環(huán)質(zhì)量流量控制系統(tǒng)。該模塊采用性能優(yōu)良、可靠性高嵌入系統(tǒng)設(shè)計(jì)。集成了先進(jìn)的自適應(yīng)控制算法, 可以有效抑制測(cè)量數(shù)據(jù)隨機(jī)誤差，因此系統(tǒng)具有響應(yīng)迅速、精度高、穩(wěn)定性好的特點(diǎn)。